制冷型锁相红外显微镜 Thermo100 技术介绍

LUXET Thermo100 是一款全国产化的锁相红外显微成像系统，配备全自动运动系统、高灵敏度制冷型中波红外相机、广角镜头与大倍率显微镜头、高压源表，可以适用于晶圆、电路板等多种不同种类器件的失效点定位。

核心特点

• 高灵敏度制冷型中波红外相机：测温精度可达 0.1mK
• 全自动运动系统：支持自动化样品扫描与定位
• 多倍率镜头：广角镜头 1X，显微镜头 8X
• 高压源表输出：输出电压 ≤ 3000V，输出电流 ≤ 3A
• 全国产化供应链：Made in China

应用场景

• 电极之间的短路定位
• 器件电阻异常分析
• 漏电和击穿检测
• 器件表面温度分布测量

通过深度计算软件对封装各层热点进行计算得到各层相位值，比对设备实际测量值，可精确确定热源产生的深度位置。可应用于失效分析、热扩散测量、应力分布、无损检测等。