学术简报：氧化镓 SBD、柔性应变传感器与可拉伸电化学传感器的电性能表征

学术简报 | 氧化镓 SBD、柔性与可拉伸器件的电性能表征

学术关键词：氧化镓肖特基势垒二极管、柔性应变传感器、可拉伸电化学传感器、高可拉伸柔性光电集成系统。涉及技术及产品：普赛斯 S300B 国产化高精度直流源表、普赛斯 PMST 功率器件静态参数测试系统。

氧化镓肖特基势垒二极管（β-Ga₂O₃ SBD）

研究不同表面处理（快速 ICP 刻蚀、慢速 ICP 刻蚀、piranha 处理）对 β-Ga₂O₃ SBD 击穿电压（BV）和比导通电阻（R_on,sp）的影响。结果表明可有效去除表面不稳定层、粗糙度小、副产物少，使 BV 由 141V 提升至 724V，R_on,sp 由 5.1 mΩ·cm² 降至 1.2 mΩ·cm²，为器件工艺优化提供指导。

柔性应变传感器（Liquid Metal / Strain Sensor）

镓基液态金属因优异的金属导电率与无限延展性在柔性电子领域受到关注。本文提出直接掩模打印液态金属电极技术：用激光切割机制作液态金属图形掩模，无需昂贵的加工步骤或设备，直接掩模打印即可实现高效低成本的柔性电路制造。

可拉伸电化学葡萄糖传感器（Stretchable Electrochemical Sensor）

利用激光诱导石墨烯（LIG）在聚酰亚胺（PI）上制备，再通过 PDMS 半固态转印到柔性衬底，并研究转印温度与时间的影响，构建用于临床治疗与健康监测的可拉伸化学传感器，检测血液中葡萄糖等生化指标。

高可拉伸柔性光电集成系统

面向柔性光电器件与可拉伸集成系统的电性能表征，需在拉伸 / 弯曲等机械变形条件下同步测量电学参数，对源表的长期稳定性与微弱信号测量能力提出要求。