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VERITAS 包括EMMI以及OBIRCH功能,系统包含InGaAS探测器、激光扫描系统、多组物镜、电动转盘、XYZ电动运动系统、高精度源表、探针台等核心组件，分辨率可达1μm,是半导体等电子元器件失效分析过程中必不可少的设备。
热点图和实物图的叠加
P-N接面漏电/崩溃
开路/短路误动作电晶体
闩锁效应
闸极氧化层漏电
金属导通孔/接触孔阻值异常
细丝残留多晶硅
矽基底损害
金属线/Poly/Well短路
多材质/厚度芯片失效
Lock-in
| 低频/高频 Lock-in OBIRCH |
激光探测器
| 波长：1310 nm |
深度制冷深度InGaAs相机
| 波长覆盖范围 900 — 1700 nm |
产品信息
| 激光探测器 | 铟镓砷（InGaAs） | |
| 功率 | ≥ 400mW |  |
| 制冷方式 | TEC | ▲深度制冷相机在近红外波段有极高的量子效率 |
| 扫描模式 | 区域扫/斜扫/线扫 | |
| 探测波段 | 900 — 1700 nm | |
| 面阵尺寸（EMMI） | 640 × 512 | |
| 面阵尺寸（OBIRCH） | 512 × 512 1024 × 1024 | |
| 扫描速度 | 1，2，4，8s/张 2，4，8，16s/张 |
不同倍率的显微镜头
| 1.35x(Macrolens)、2x、5x、20x、50x、100x |
物镜
| 规格型号 | 工作距离（mm） |
| 1.35x | 38 |
| 2.5x | 20 |
| 5x | 37.5 |
| 20x | 20 |
| 50x | 17 |
| 100x | 12 |
X Y Z 运动控制系统
|
电动 X Y Z |
T轴物镜转盘 | 6孔物镜转盘 |
电压、电流输出
| 输出电压 ≤3kV，输出电流 ≤3A | 电压：± 10V，电流：100 mA 电压：± 25V，电流：100 μA |
工作条件
| 电压 | 230V ± 10% / 50Hz 功率 2300W |
| 真空 | > 50 kPa |
| 环境要求 | 干净、干燥、无油 |
尺寸参数
| 规格型号 | VERITAS |
| 设备尺寸 | 1350 (W) × 1350 (D) × 2075 (H) mm |
| 重量 | Approx. 1200 kg |
软件
自主研发的测量软件，包含图像暂存、电压-电流测量等功能。
