万博集团仪器设备站 · 专业测试测量仪器授权供应商
LUXET LaserSight 100配备了全自动运动系统、激光探测器、电动物镜转盘、不同倍率的显微镜头、激光诱导电阻变化功能(Infrared-Optical Beam Induced Resistance Change)、Lock-in OBIRCH,可以适用于芯片级的失效点定位。
热点图和实物图的叠加
金属线/Poly/Well短路
闸极氧化层漏电
金属导通孔/接触孔阻值异常
多材质/厚度芯片失效
Lock-in
| 低频 / 高频 Lock-in OBIRCH |
激光探测器
| 波长:1310 nm |
产品信息
| 激光探测器 | 波长:1310 nm |
| 功率 | ≥ 400mW |
| 扫描模式 | 区域扫/斜扫/线扫 |
| 扫描速度 | 1，2，4，8s /张 2，4，8，16s /张 |
| 面阵尺寸 | 512 ×512 1024 × 1024 |
不同倍率的显微镜头
| 2.5x、5x、20x、50x、100x |
物镜
| 规格型号 | 工作距离（mm） |
| 2.5x | 28 |
| 5x | 37.5 |
| 20x | 20 |
| 50x | 17 |
| 100x | 10 |
运动控制模式
| 高精度 X Y Z T |
X Y Z 运动控制系统
| 电动 X Y Z | T轴物镜转盘 | 5孔物镜转盘 |
电压、电流输出
| 电压：± 10V，电流：100 mA | 电压：± 25V，电流：100 μA |
工作条件
| 电压 | 230V ± 10% / 50Hz |
| 真空 | > 50 kPa，功率 2300W |
| 环境要求 | 干净、干燥、无油 |
尺寸参数
| 规格型号 | LaserSight 100 |
| 设备尺寸 | 1350 (W) × 1350 (D) × 2075 (H) mm |
| 重量 | Approx. 1100 kg |
软件
自主研发的测量软件，包含图像暂存、电压-电流测量等功能。
热点图和实物图的叠加
