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LUXET InGaAs 50 配备了全自动运动系统、深度制冷型InGaAS相机、电动物镜转盘、不同倍率的显微镜头以及锁相测量模式，可以适用于半导体器件的失效点定位。
热点图和实物图的叠加
栅氧漏电
ESD/EOS失效
PN结漏电
Lock-in
| 锁相测量模式 |
深度制冷深度InGaAs相机
| 波长覆盖范围 900 — 1700 nm |
产品信息
| 探测器 | 铟镓砷（InGaAs） |
| 制冷方式 | TEC + 水冷 |
| 探测波段 | 900 — 1700 nm |
| 面阵尺寸 | 640 × 512 |
不同倍率的显微镜头
| 2x、5x、20x、50x、100x |
物镜
| 规格型号 | 工作距离（mm） |
| 2x | 35 |
| 5x | 37.5 |
| 20x | 20 |
| 50x | 17 |
| 100x | 12 |
X Y Z 运动控制系统
| 电动 X Y Z |
电压、电流输出
| 输出电压 ≤3kV | 输出电流 ≤3A |
电动物镜转盘
| 五孔电动转盘 |
工作条件
| 电压 | 230V ± 10% / 50Hz |
| 真空 | > 50 kPa |
| 环境要求 | 干净、干燥、无油 |
尺寸参数
| 规格型号 | InGaAs 50 |
| 设备尺寸 | 1200 (W) × 980 (D) × 1920 (H) mm |
| 重量 | Approx. 500 kg |
软件
自主研发的测量软件，包含图像暂存、电压-电流测量等功能。
20X 成像场景
50X 成像场景
