

LUXET InGaAs 100 是一款微光显微成像系统。配备了全自动运动系统、深度制冷型InGaAs相机、不同倍率的显微镜头以及锁相测量模式,可以适用于半导体器件的失效点定位。
热点图和实物图的叠加

P-N接面漏电/崩溃
开路/短路误动作电晶体
闩锁效应
闸极氧化层漏电
细丝残留多晶硅
矽基底损害

Lock-in
| 提供锁相测量模式 |

深度制冷深度InGaAs相机
| 波长覆盖范围 900 — 1700 nm |

产品信息
| 探测器 | 铟镓砷(InGaAs) | |
| 制冷方式 | TEC | ![]() |
| 探测波段 | 900 — 1700 nm | ▲深度制冷相机在近红外波段有极高的量子效率 |
| 面阵尺寸 | 640 × 512 |

不同倍率的显微镜头
| 1.35x(Macrolens)、2x、5x、20x、50x、100x |

物镜
| 规格型号 | 工作距离(mm) |
| 1.35x | 38 |
| 2x | 35 |
| 5x | 37.5 |
| 20x | 20 |
| 50x | 17 |
| 100x | 12 |

X Y Z 运动控制系统
|
X Y 行程 60mm Z轴 行程 50mm |
T轴物镜转盘 | 5孔物镜转盘+Macrolens 切换器 |

电压、电流输出
| 输出电压 ≤3kV | 输出电流 ≤3A |

全国产化供应链
| 合肥,全国 |

工作条件
| 电压 | 230V ± 10% / 50Hz 功率 2300W |
| 真空 | > 50 kPa |
| 环境要求 | 干净、干燥、无油 |

尺寸参数
| 规格型号 | InGaAs 100 |
| 设备尺寸 | 1350 (W) × 1350 (D) × 2075 (H) mm |
| 重量 | Approx. 1200 kg |

软件
自主研发的测量软件,包含图像暂存、电压-电流测量等功能。
